Информационно-поисковый портал

Технические газы
Криогенное и газовое оборудование

Спиральные насосы серий XDS35ik12207

XDS – серия спиральных насосов (безмасляных), в которых используется запатентованная технология сильфонного ввода движения. Сильфон полностью изолирует подшипники от рабочей камеры спирального насоса, защищая их тем самым от воздействия химически-активных веществ, и не допускает проникновение смазочных материалов в рабочую камеру спирального насоса.

nXDS – следующее поколение вакуумных спиральных безмасляных насосов, пришедших на замену аналогичным и среднегабаритным насосам с масляными уплотнениями. Насосы нового поколения превосходят существующие, обладая увеличенной скоростью откачки одновременно с низким предельным остаточным давлением, энергопотреблением и уровнем шума. 

Регулируемое газобалластное устройство позволяет осуществлять откачку конденсируемых паров, воды, растворителей, жидких кислот и щелочей. Последние разработки в технологии уплотнения спиралей дают значительное увеличение ресурса работы насоса по сравнению с предыдущей серией. Наличие инвертора дает возможность управлять работой электродвигателя насоса. В этом случае можно быть уверенным, что насос всегда работает в оптимальном режиме, а наличие порта логического интерфейса позволяет регулировать частоту вращения вала.

В насосах версии nXDS15iC используются материалы, которые позволяют применять данные насосы для решения широкого спектра задач жидкостной химии.

Насосы nXDS15iR созданы для таких приложений, как рециркуляция, откачка сжиженных газов или для других приложений, в которых нежелательно разжижение откаченного газа или при наличии встроенных уплотнений для минимизации потенциальных газовых потерь.

 

Достоинства:

  • Запатентованная технология изоляции подшипников с помощью сильфона;
  • Абсолютно сухая безмасляная откачка;
  • Широкий диапазон напряжения питания;
  • Предельное остаточное давление:  0,01 мбар (8x10-3 Торр) – для XDS; 0,007 мбар (5x10-3 Торр) – для nXDS;
  • Постоянная скорость откачки в независимости от условий работы;
  • Насос может работать от любого напряжения, обеспечивая одинаковые откачные характеристики;
  • Не требуется уплотнения вала и продувки подшипников;
  • Возможность удалённого управления насосом с помощью 15-пинового разъема логического интерфейса (XDS и nXDS) или цифрового интерфейса USB (для nXDS);
  • Низкое энергопотребление;
  • Простота ремонта и обслуживания.

Области применения:

  • Сканирующие электронные микроскопы;
  • Установки ионной имплантации (откачка ионопроводов и имплантационных камер);
  • Основные отрасли, где нужна безмасляная откачка;
  • Напыление;
  • Форвакуумная откачка турбомолекулярных насосов.

 

 

Наименование параметраТип насоса
nXDS6inXDS10inXDS15inXDS20iXDS35iXDS46iXDS100B
Откачиваемый поток: м<sup3< sup="">•Па/час 
л•мбар/с

6,8
1,9

12,7
3,5

17,1
4,8

28
7,8

43 
12,1

60 
16,7
 
Максимальная быстрота действия: м<sup3< sup="">•Па/час 
л/с

6,2
1,7

11,4
3,2

15,1
4,2

22,0
6,1

35
10

40
11,1
<br.95 <br="">26,4
Максимальное давление* на входном фланце, мбар 200 50 35 40 20
Предельное остаточное давление, мбар: 
С газобалластом
Без газобалласта

5x10-2
2x10-2

4x10-2
7x10-3

4x10-2
7x10-3

6x10-2
3x10-2


1x10-2


5x10-2


<1x10-2
Входной фланец ISO NW25 NW25 NW25 NW25 NW40 NW40 NW40
Выходной фланец ISO NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW25 NW40
Масса, кг 26,2 25,8 25,2 25,6 48 48 48
Макс. давление паров воды, мбар 35 35 35 20 50  
Мощность двигателя, Вт 260 280 300 300 520 520 520
Уровень шума, дБ 52 57 55,4 52,1 520
Максимальная быстрота откачки паров воды, г/час 
Газобалласт - малый поток
Газобалласт - большой поток



110



145



280



220


70
240



240

Москва, Северный бульвар д.3

(499) 703-16-93, +7-963-270-72-72

tgko@tgko.ru, Skype: TGKO.ru

Использование сайта, в том числе подача объявлений, означает согласие с пользовательским соглашением.