На одном из научно-производственных предприятий Московской области специалисты компании АО "Интек Аналитика" выполнили ремонт откачных постов с заменой системы откачки. Посты предназначены для штенгельной откачки электровакуумных приборов. Откачная система постов построена по принципу "вакуум в вакууме".
На основе расчетов было подобрано откачное оборудование, отвечающее требованиям технического задания. Выбор пал на гибридный турбомолекулярный насос nEXT400D на фланце CF160 и спиральный насос nXDS15i производства компании Edwards. Предварительное тестирование оборудования подтвердило его способность обеспечивать значения давления < 3.10-9 мбар.
Была разработана новая вакуумная схема с безбайпасной системой откачки и измерения давления на базе вакуумных датчиков компании Thyracont с сертификатом о первичной поверке. Специалисты спроектировали новую систему управления с резервированием по питанию, которая была интегрирована в существующую стойку. Помимо этого, произведена дополнительная очистка внутренних частей запорной арматуры заказчика. Выполнены монтажные и пусконаладочные работы.
В результате на каждом посте удалось получить значения давления < 2.10-8 мбар, что превосходит значения по техническому заданию.
Новости недели
Реклама
Разместите свою рекламу на нашем портале – и вы получите внимание аудитории, наиболее целевой для вашего бизнеса.