.jpg)
Специалистами компании "Мониторинг Вентиль и Фитинг" был изготовлен и отправлен покупателю контейнер из нержавеющей стали 316L с электрохимической полировкой внутренних поверхностей.
Этот сосуд объемом 250 мл с рабочим давлением 20 бар и давлением испытаний 40 бар предназначен для триметилалюминия, представляющего собой полупродукт сверхвысокой чистоты, который применяют в микроэлектронной промышленности.
Триметилалюминий Al(CH3)3 является одним из простейших примеров соединения алюминия с органическими веществами. Несмотря на свое название, он при температуре ниже 15 оС затвердевает и имеет формулу Al2(CH3)6, так как существует при таких условиях в виде димера. При температуре более 15 оС он представляет собой бесцветную жидкость.
Триметилалюминий используется при производстве полупроводников для нанесения тонких пленок диэлектриков с высоким коэффициентом диэлектрических потерь, таких как Al2O3, с помощью химического осаждения из газовой фазы или атомно-слоевого осаждения.
Триметилалюминий является предпочтительным прекурсором для металлоорганической эпитаксии из паровой фазы составных полупроводников, содержащих алюминий. Главным показателем качества триметилалюминия и других прекуроров выступает отсутствие примесей. Поэтому при работе с подобными веществами требуется особое отношение к оборудованию. После выполнения электрохимической полировки внутренние поверхности сосудов становятся идеально гладкими, а металл приобретает минимальную шероховатость. Электрохимическое полирование также защищает от адсорбции таких нежелательных примесей, как влага.
Сосуд состоит из цилиндра, двух донышек, предварительно подвергнутых электрохимическому полированию, горловины и подводящего патрубка, изготовленного из трубки и фитингов с внутренней электрохимической полировкой. Он укомплектован мембранным вентилем, разработанным специально для работы с чистыми средами. Сборка выполнена с помощью орбитальной сварки. Детали этого вентиля были подвергнуты на заводе электрохимическому полированию.
Сварные швы проходят 100% неразрушающий контроль. Перед тем, как отправить сосуд покупателю, специалисты компании "Мониторинг Вентиль и Фитинг" в обязательном порядке подвергают его тщательной проверке и испытаниям на герметичность с помощью гелиевого течеискателя. После проведения испытаний сосуды консервируются чистым сухим азотом, гелием или аргоном.
