.jpg)
Компания "Провита" успешно реализовала проект по поставке и монтажу адсорбционной азотной установки N5000U для одного из крупнейших промышленных предприятий России в сфере полупроводниковых приборов.
Применение газообразного азота необходимо для продувки и очистки материалов во время изготовления полупроводников. Такой процесс позволяет защитить поверхность от негативного воздействия кислорода и окисления отдельных элементов.
При разработке установки инженеры компании "Провита" учли строгие требования заказчика. Остаточная объемная концентрация кислорода не превышает 5 ppm. Номинальное давление продукционного газа составляет 0,8 МПа. Производительность насчитывает 2500 норм. л/мин.
Помимо этого, точка росы -70 oC исключает риск образования влаги в технологическом процессе, а полностью автоматизированная работа не требует постоянного присутствия оператора.
Уникальность всей установки заключается в технологической схеме генератора, с помощью которого можно получать высокочистый азот с остаточной концентрацией кислорода не более 5 ppm.
Для исключения подачи продукционного азота с содержанием кислорода, превышающим величину в 5 ppm, определенную проектной документацией, была предусмотрена система сброса некондиционного газа. Если параметры остаточной концентрации кислорода и влажности в продукционном газе оказываются выше указанных величин, подача азота в линию прекращается.
Благодаря внедрению азотного генератора предприятие заказчика получило возможность самостоятельного производства азота, соответствующего всем требованиям.
